什麼是勻膠機？勻膠機的滴膠系統，可塗不同品種的光刻膠。滴膠的方式有晶片靜止或旋轉滴膠。隨着晶片尺寸的增大，出現了多點滴膠或膠口移動式滴膠。
勻膠機使用什麼電機呢？這裏使用高速無刷電機3萬轉，勻膠的轉速快慢和控製精度直接關系到旋塗層的厚度控製和膜層均勻性。 使用高速無刷電機具有結構簡單，性能穩定的特點，替代有刷電機的碳刷磨損，壽命低，也替代交流電機的轉速偏低，體積偏大。
為什麼勻膠機需要中空軸呢？勻膠機主軸轉速的穩定性和重復性是決定膠膜厚度均勻性和一致性的關鍵，起動加速度的大小是決定是否能將不同粘稠度的光刻膠甩開並使膠均勻的決定因素。